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EP 4 256 115 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 11.10.2023  Patentblatt  2023/41 (21) Anmeldenummer: 21819104.7 (22) Anmeldetag:  22.11.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C30B 25/02(2006.01) C30B 29/22(2006.01) H01L 41/18(2006.01) C23C 16/18(2006.01) C30B 29/32(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C30B 25/02; C30B 29/22; C30B 29/32; C23C 16/409; C23C 16/52; C23C 14/088; C23C 14/548; H10N 30/076; H10N 30/077; H10N 70/023; H10N 70/026 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/082505 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/117387 (09.06.2022 Gazette  2022/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 02.12.2020 DE 102020132049 (71) Anmelder: Forschungsverbund Berlin E.V. 12489 Berlin (DE)	(72) Erfinder: SCHWARZKOPF, Jutta 12159 Berlin (DE) BAKI, Aykut 10319 Berlin (DE) IRMSCHER, Klaus 12621 Berlin (DE) STÖVER, Julian 10367 Berlin (DE) ALBRECHT, Martin 10435 Berlin (DE) SCHULZ, Tobias 12053 Berlin (DE) (74) Vertreter: Eisenführ Speiser  Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB Stralauer Platz 34 10243 Berlin 10243 Berlin (DE)