(19)
(11) EP 4 256 603 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.10.2023  Patentblatt  2023/41

(21) Anmeldenummer: 21834723.5

(22) Anmeldetag:  06.12.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/34(2006.01)
C23C 14/34(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01J 37/3447; H01J 37/34; C23C 14/044; C23C 14/3492; C23C 14/545; C23C 14/352
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2021/200240
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2022/122095 (16.06.2022 Gazette  2022/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 07.12.2020 DE 202020107045 U

(71) Anmelder: Solayer GmbH
63791 Karlstein (DE)

(72) Erfinder:
  • HRUNSKI, Dzmitry
    63741 Aschaffenburg (DE)
  • KRESS, Markus
    63165 Mühlheim am Main (DE)
  • SEIBERT, Marco
    63225 Langen (DE)
  • SCHWARZ, Florian Peter
    63739 Aschaffenburg (DE)

(74) Vertreter: Lippert Stachow Patentanwälte Rechtsanwälte Partnerschaft mbB 
Krenkelstraße 3
01309 Dresden
01309 Dresden (DE)

   


(54) BLENDENANORDNUNG ZUR BEGRENZUNG DES BESCHICHTUNGSBEREICHS EINER SPUTTERQUELLE UND SPUTTERVORRICHTUNG