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EP 4 263 896 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 25.10.2023  Patentblatt  2023/43 (21) Anmeldenummer: 21801831.5 (22) Anmeldetag:  27.10.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/16(2006.01) C23C 14/08(2006.01) F01D 5/28(2006.01) C23C 14/06(2006.01) F01D 5/12(2006.01) C23C 14/32(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C23C 14/165; C23C 14/0635; C23C 14/067; C23C 14/0641; C23C 14/08; F01D 5/288; C23C 14/325; F05D 2230/313; F05D 2300/2118; F05D 2300/226; F05D 2300/228 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/000134 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/128144 (23.06.2022 Gazette  2022/25)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 15.12.2020 DE 102020007662 (71) Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 8808 Pfäffikon (CH)	(72) Erfinder: KOHLHAUSER, Bernhard 1130 Vienna (AT) RAMM, Jürgen 7304 Maienfeld (CH) HUNOLD, Oliver 8820 Wädenswil (CH) BALTER, Edgar 6834 Übersaxen (AT) (74) Vertreter: Heine-Kempkens, Claus  Oerlikon Surface Solutions AG Pfäffikon 8808 Pfäffikon, SZ 8808 Pfäffikon, SZ (CH)