(19)

(11)

EP 4 264 676 A1

(12)

(43) Date de publication: 25.10.2023  Bulletin  2023/43 (21) Numéro de dépôt: 21840929.0 (22) Date de dépôt:  20.12.2021

(51) Int. Cl.:  H01L 31/054(2014.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01L 31/0547; H01L 31/0543; Y02E 10/52 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2021/086849 (87) Numéro de publication internationale: WO 2022/136298 (30.06.2022 Gazette  2022/26)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 21.12.2020 FR 2013856 (71) Demandeur: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: BERMUDEZ GARCIA, Anderson 38054 GRENOBLE CEDEX 09 (FR) RACCURT, Olivier 38054 GRENOBLE CEDEX 09 (FR) VOARINO, Philippe 38054 GRENOBLE CEDEX 09 (FR) (74) Mandataire: INNOV-GROUP  310, avenue Berthelot 69372 Lyon Cedex 08 69372 Lyon Cedex 08 (FR)