(19)

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EP 4 268 266 A1

(12)

(43) Date de publication: 01.11.2023  Bulletin  2023/44 (21) Numéro de dépôt: 21840633.8 (22) Date de dépôt:  22.12.2021

(51) Int. Cl.:  H01L 21/02(2006.01) H01L 33/02(2010.01) H01L 27/15(2006.01) H01L 33/00(2010.01) H01L 33/12(2010.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01L 33/007; H01L 33/025; H01L 27/156; H01L 21/02381; H01L 21/02458; H01L 21/0254; H01L 21/0265; H01L 33/12; H01L 21/0243; H01L 21/02639 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2021/087380 (87) Numéro de publication internationale: WO 2022/136588 (30.06.2022 Gazette  2022/26)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 22.12.2020 FR 2013977 (71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: CHARLES, Matthew 38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR) FEUILLET, Guy 38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR) PERNEL, Carole 38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR) (74) Mandataire: Hautier IP  20, rue de la Liberté 06000 Nice 06000 Nice (FR)