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EP 4 268 269 A1

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(43) Date de publication: 01.11.2023  Bulletin  2023/44 (21) Numéro de dépôt: 21844664.9 (22) Date de dépôt:  22.12.2021

(51) Int. Cl.:  H01L 21/20(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01L 21/02639; H01L 21/0265; H01L 21/0254; H01L 21/02458; H01L 21/02488; H01L 21/02505; H01L 21/02381; H01L 21/0245; H01L 21/02587; H01L 29/2003; H01L 29/7802; H01L 29/7813; H01L 29/66712; H01L 29/66734; H01L 29/872; H01L 29/868 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2021/087197 (87) Numéro de publication internationale: WO 2022/136500 (30.06.2022 Gazette  2022/26)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 22.12.2020 FR 2013964 (71) Demandeurs: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 75015 Paris (FR) Centre National de la Recherche Scientifique 75016 Paris (FR)

(72) Inventeurs: FEUILLET, Guy 38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR) BOUCHET, Thierry 38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR) CHARLES, Matthew 38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR) DAGHER, Roy 06200 NICE (FR) ZUNIGA PEREZ, Jesus 06410 BIOT (FR) (74) Mandataire: Hautier IP  20, rue de la Liberté 06000 Nice 06000 Nice (FR)