(19)
(11) EP 4 272 243 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.11.2023  Patentblatt  2023/45

(21) Anmeldenummer: 21836480.0

(22) Anmeldetag:  13.12.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/66(2006.01)
 H01L 21/02(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 22/20; H01L 22/12; H01L 22/14; H01L 28/55; H10N 30/04
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/085397
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2022/144163 (07.07.2022 Gazette  2022/27)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 04.01.2021 DE 102021200001

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHARY, Timo
    72631 Aichtal-Neuenhaus (DE)
  • MONTEIRO DINIZ REIS, Daniel
    73734 Esslingen Am Neckar (DE)
  • SCHATZ, Frank
    70806 Kornwestheim (DE)
  • MEWS, Mathias
    72766 Reutlingen (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS