(19)
(11) EP 4 275 096 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.11.2023  Patentblatt  2023/46

(21) Anmeldenummer: 22700045.2

(22) Anmeldetag:  04.01.2022
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03F 7/20(2006.01)
C23G 1/24(2006.01)
B08B 7/00(2006.01)
 C23G 5/036(2006.01)
C23G 1/00(2006.01)
G01N 21/94(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
B08B 7/0042; G03F 7/70925; C23G 5/036; C23G 1/24; G01N 21/94; C25F 1/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2022/050063
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2022/148742 (14.07.2022 Gazette  2022/28)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 09.01.2021 DE 102021200130

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • ASSFALG, Christian
    73434 Aalen (DE)
  • BRAUN, Katharina
    80981 Ulm (DE)
  • WINTER, Ralf
    73529 Schwaebisch Gmuend (DE)
  • GRIEBEL, Jonathan
    73431 Aalen (DE)
  • HEINE, Christian
    73434 Aalen (DE)
  • BOEHME, Rene
    73457 Essingen (DE)
  • DACHWALD, Oliver
    80636 Muenchen (DE)

(74) Vertreter: Kohler Schmid Möbus Patentanwälte 
Partnerschaftsgesellschaft mbB Gropiusplatz 10
70563 Stuttgart
70563 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM REINIGEN EINER OBERFLÄCHE EINES BAUTEILS FÜR EIN EUV-LITHOGRAPHIESYSTEM