(19)

(11)

EP 4 277 764 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 22.11.2023  Patentblatt  2023/47 (21) Anmeldenummer: 22701879.3 (22) Anmeldetag:  10.01.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B23K 26/0622(2014.01) H01L 21/78(2006.01) B23K 101/40(2006.01) B23K 26/53(2014.01) C03B 33/02(2006.01) B23K 103/00(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : B23K 26/0624; B23K 26/53; B23K 2103/56; B23K 2103/52; B23K 2103/54; B23K 2101/40; H01L 21/78; C03B 33/0222 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/050305 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/152637 (21.07.2022 Gazette  2022/29)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 14.01.2021 DE 102021100675 (71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE) Trumpf Laser- und Systemtechnik GmbH 71254 Ditzingen (DE)

(72) Erfinder: BLOTHE, Markus 07745 Jena (DE) CHAMBONNEAU, Maxime 07749 Jena (DE) NOLTE, Stefan 07751 Jena (DE) KUMKAR, Malte 99425 Weimar (DE) (74) Vertreter: Schneiders & Behrendt Bochum  Huestraße 23 44787 Bochum 44787 Bochum (DE)