(19)
(11) EP 4 281 596 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
29.11.2023  Patentblatt  2023/48

(21) Anmeldenummer: 22708892.9

(22) Anmeldetag:  22.02.2022
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/14(2006.01)
H01J 37/34(2006.01)
C23C 14/34(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 14/3407; C23C 14/14; H01J 37/3414; H01J 37/3429; H01J 37/3423; H01J 37/3426
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2022/054443
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2022/180055 (01.09.2022 Gazette  2022/35)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 23.02.2021 DE 102021104255

(71) Anmelder: CemeCon AG
52146 Würselen (DE)

(72) Erfinder:
  • LEMMER, Oliver
    52066 Aachen (DE)
  • KÖLKER, Werner
    52134 Herzogenrath (DE)
  • BALZEREIT, Jürgen
    52146 Würselen (DE)
  • BOLZ, Stephan
    52072 Aachen (DE)

(74) Vertreter: Kalkoff & Partner Patentanwälte mbB 
Martin-Schmeisser-Weg 3a-3b
44227 Dortmund
44227 Dortmund (DE)

   


(54) ZERSTÄUBUNGSTARGET