(19)

(11)

EP 4 282 006 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 29.11.2023  Patentblatt  2023/48 (21) Anmeldenummer: 22711911.2 (22) Anmeldetag:  22.02.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/778(2006.01) H01L 29/201(2006.01) H01L 29/417(2006.01) H01L 29/04(2006.01) H01L 29/20(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 29/201; H01L 29/045; H01L 29/2003; H01L 29/7786; H01L 29/41766 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/054315 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/180002 (01.09.2022 Gazette  2022/35)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 25.02.2021 DE 102021201789 (71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE)	(72) Erfinder: FICHTNER, Simon 25524 Itzehoe (DE) LOFINK, Fabian 25524 Itzehoe (DE) WAGNER, Bernhard 25524 Itzehoe (DE) KAPELS, Holger 25524 Itzehoe (DE) (74) Vertreter: Zimmermann, Tankred Klaus et al Schoppe, Zimmermann, Stöckeler Zinkler, Schenk & Partner mbB Patentanwälte Radlkoferstrasse 2 81373 München 81373 München (DE)