(19)
(11) EP 4 285 402 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
06.12.2023  Patentblatt  2023/49

(21) Anmeldenummer: 21703193.9

(22) Anmeldetag:  01.02.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/67(2006.01)
H01L 21/20(2006.01)
H01L 21/18(2006.01)
H01L 21/687(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 21/67092; H01L 21/2007; H01L 21/6875; H01L 21/185
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/052267
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2022/161636 (04.08.2022 Gazette  2022/31)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(71) Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH
4782 St. Florian am Inn (AT)

(72) Erfinder:
  • ZINNER, Dominik
    4782 St. Florian am Inn (AT)
  • PLACH, Thomas
    4782 St. Florian am Inn (AT)

(74) Vertreter: Schneider, Sascha et al
Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22
40878 Ratingen
40878 Ratingen (DE)

   


(54) SUBSTRATHALTER UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SUBSTRATHALTERS ZUM BONDEN