(19)
(11) EP 4 285 404 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
06.12.2023  Patentblatt  2023/49

(21) Anmeldenummer: 22753640.6

(22) Anmeldetag:  15.07.2022
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/67(2006.01)
H01L 31/18(2006.01)
 H01L 21/687(2006.01)
C23C 16/458(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 21/67115; H01L 21/68714; H01L 31/18
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2022/069865
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/016747 (16.02.2023 Gazette  2023/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 13.08.2021 DE 102021004175

(71) Anmelder: Singulus Technologies AG
63796 Kahl am Main (DE)

(72) Erfinder:
  • BORODIN, Sergiy
    63741 Aschaffenburg (DE)
  • LUDWIG, Andreas
    63741 Aschaffenburg (DE)

(74) Vertreter: Vossius & Partner Patentanwälte Rechtsanwälte mbB 
Siebertstraße 3
81675 München
81675 München (DE)

   


(54) ABSTANDSVORRICHTUNG FÜR HEIZSYSTEM ZUM AUFHEIZEN VON GROßFLÄCHIGEN SUBSTRATEN, HEIZSYSTEM UND AUFHEIZVERFAHREN