(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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BA ME |
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Benannte Validierungsstaaten: |
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KH MA MD TN |
(30) |
Priorität: |
03.02.2021 DE 102021201001
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(71) |
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH |
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73447 Oberkochen (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- STROBEL, Sebastian
73430 Aalen (DE)
- SHKLOVER, Vitaliy
89522 Heidenheim (DE)
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(74) |
Vertreter: Lorenz, Markus |
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Lorenz & Kollegen Patentanwälte Partnerschaftsgesellschaft mbB Alte Ulmer Straße 2 89522 Heidenheim 89522 Heidenheim (DE) |
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