(19)
(11) EP 4 288 839 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.12.2023  Patentblatt  2023/50

(21) Anmeldenummer: 22703354.5

(22) Anmeldetag:  02.02.2022
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03F 7/20(2006.01)
G01N 21/94(2006.01)
 C23C 14/04(2006.01)
G02B 5/08(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
G03F 7/70958; G01N 21/94; C23C 14/52; C23C 14/021; C23C 14/564
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2022/052437
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2022/167466 (11.08.2022 Gazette  2022/32)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 03.02.2021 DE 102021201001

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • STROBEL, Sebastian
    73430 Aalen (DE)
  • SHKLOVER, Vitaliy
    89522 Heidenheim (DE)

(74) Vertreter: Lorenz, Markus 
Lorenz & Kollegen Patentanwälte Partnerschaftsgesellschaft mbB Alte Ulmer Straße 2
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTS, VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTS, OPTISCHES ELEMENT UND LITHOGRAFIESYSTEM