(19)

(11)

EP 4 289 009 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.12.2023  Patentblatt  2023/50 (21) Anmeldenummer: 21830934.2 (22) Anmeldetag:  15.12.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/0745(2012.01) H01L 31/0216(2014.01) H01L 31/18(2006.01) H01L 31/0747(2012.01) H01L 31/0224(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 31/0745; H01L 31/02167; H01L 31/0747; H01L 31/022425; H01L 31/1868; H01L 31/1864 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2021/000205 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/167018 (11.08.2022 Gazette  2022/32)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 02.02.2021 DE 102021000501 (71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 52425 Jülich (DE)	(72) Erfinder: DING, Kaining 52146 Würselen (DE) POMASKA, Manuel 50939 Köln (DE) QIU, Kaifu 52428 Jülich (DE)