(19)

(11)

EP 4 291 688 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 20.12.2023  Patentblatt  2023/51 (21) Anmeldenummer: 22709603.9 (22) Anmeldetag:  04.02.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/455(2006.01) C23C 16/44(2006.01) C23C 16/458(2006.01) C30B 25/14(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C23C 16/45508; C23C 16/45572; C23C 16/4584; C23C 16/4401 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/052660 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/171529 (18.08.2022 Gazette  2022/33)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 11.02.2021 DE 102021103245 (71) Anmelder: Aixtron SE 52134 Herzogenrath (DE)	(72) Erfinder: BEE, Levin David Richard Johannes 4730 Hauset (BE) (74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26 42329 Wuppertal 42329 Wuppertal (DE)