(19)

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EP 4 291 951 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 20.12.2023  Patentblatt  2023/51 (21) Anmeldenummer: 22708501.6 (22) Anmeldetag:  11.02.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/00(2006.01) G03F 7/031(2006.01) G03F 7/033(2006.01) G03F 7/027(2006.01) G03F 7/029(2006.01) G03F 7/032(2006.01) G03F 7/105(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C08F 2/50; G02B 5/32; G03H 2260/12; G03F 7/001; G03F 7/029; G03F 7/031; G03F 7/105; G03F 7/032; G03F 7/033; G03F 7/027; G02B 5/1857 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/053408 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/171814 (18.08.2022 Gazette  2022/33)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 11.02.2021 EP 21156623 (71) Anmelder: Xetos AG 85662 Hohenbrunn (DE)	(72) Erfinder: KNOCKE, Frank 85560 Ebersberg (DE) (74) Vertreter: Gerauer, Marc Philippé  Kraus & Weisert Patentanwälte PartGmbB Thomas-Wimmer-Ring 15 80539 München 80539 München (DE)