(19)

(11)

EP 4 315 418 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.02.2024  Patentblatt  2024/06 (21) Anmeldenummer: 22718103.9 (22) Anmeldetag:  23.03.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/373(2006.01) C04B 35/645(2006.01) C04B 37/02(2006.01) H01L 21/48(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 23/3735; C04B 37/026; H01L 21/4846; C04B 2237/343; C04B 2237/368; C04B 2237/366; C04B 2237/365; C04B 2237/34; C04B 2237/348 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/057595 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/200406 (29.09.2022 Gazette  2022/39)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 26.03.2021 DE 102021107690 (71) Anmelder: Rogers Germany GmbH 92676 Eschenbach (DE)	(72) Erfinder: KOHL, Thomas 91275 Auerbach (DE) RETTINGER, Bernhard 92670 Windischeschenbach (DE) (74) Vertreter: Müller Schupfner & Partner Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB  Bavariaring 11 80336 München 80336 München (DE)