(19)

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EP 4 315 428 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 17.11.2022 (43) Veröffentlichungstag: 07.02.2024  Patentblatt  2024/06 (21) Anmeldenummer: 22716902.6 (22) Anmeldetag:  18.03.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/78(2006.01) H01L 29/76(2006.01) H01L 27/12(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 29/7855; H01L 27/1211; H01L 29/7606 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/057201 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/207369 (06.10.2022 Gazette  2022/40)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 29.03.2021 DE 102021107880 (71) Anmelder: Brandenburgische Technische Universität Cottbus - Senftenberg, Körperschaft des Öffentlichen Rechts 03046 Cottbus (DE)	(72) Erfinder: WULF, Ulrich 03046 Cottbus (DE) RICHTER, Hans 15236 Frankfurt (Oder) (DE) (74) Vertreter: Eisenführ Speiser  Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB Stralauer Platz 34 10243 Berlin 10243 Berlin (DE)