(19)
(11) EP 4 324 020 A1

(12)

(43) Date de publication:
21.02.2024  Bulletin  2024/08

(21) Numéro de dépôt: 22722302.1

(22) Date de dépôt:  12.04.2022
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/18(2006.01)
H01L 21/20(2006.01)
 H01L 21/02(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01L 21/02002; H01L 21/185; H01L 21/2007
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2022/050691
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2022/219283 (20.10.2022 Gazette  2022/42)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 16.04.2021 FR 2103986

(71) Demandeurs:
  • COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
    75015 Paris (FR)
  • SOITEC
    38190 Bernin (FR)

(72) Inventeurs:
  • ROUMANIE, Marilyne
    38054 Grenoble cedex 9 (FR)
  • NAVONE, Christelle
    38054 Grenoble cedex 09 (FR)
  • QUENARD, Sébastien
    38054 Grenoble cedex 9 (FR)
  • LANDRU, Didier
    38190 BERNIN (FR)
  • VEYTIZOU, Christelle
    38190 BERNIN (FR)

(74) Mandataire: Germain Maureau 
12, rue Boileau
69006 Lyon
69006 Lyon (FR)

   


(54) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE MULTICOUCHE