| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
|
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
|
Benannte Erstreckungsstaaten: |
|
BA ME |
|
Benannte Validierungsstaaten: |
|
KH MA MD TN |
| (30) |
Priorität: |
19.04.2021 DE 102021109823
|
| (71) |
Anmelder: ALD Vacuum Technologies GmbH |
|
63457 Hanau (DE) |
|
| (72) |
Erfinder: |
|
- POPOV, Ivaylo
63452 Hanau (DE)
- LIPPERT, Lothar
63755 Alzenau (DE)
- LEMKE, Stefan
60311 Frankfurt am Main (DE)
- KILZER, Thomas
63843 Niedernberg (DE)
|
| (74) |
Vertreter: Fuchs Patentanwälte Partnerschaft mbB |
|
Tower 185 Friedrich-Ebert-Anlage 35-37
60327 Frankfurt am Main
60327 Frankfurt am Main (DE) |
|
