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EP 4 329 977 A2

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(88) Veröffentlichungstag A3: 29.12.2022 (43) Veröffentlichungstag: 06.03.2024  Patentblatt  2024/10 (21) Anmeldenummer: 22725764.9 (22) Anmeldetag:  26.04.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B23K 26/03(2006.01) B23K 26/066(2014.01) B23K 26/08(2014.01) B23K 26/57(2014.01) H01L 21/00(2006.01) B23K 26/38(2014.01) H01L 21/78(2006.01) B23K 103/00(2006.01) B23K 26/04(2014.01) B23K 26/067(2006.01) B23K 26/402(2014.01) B23K 37/04(2006.01) H01L 33/00(2010.01) H01L 21/67(2006.01) B23K 101/40(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : B23K 2101/40; B23K 26/032; B23K 26/066; B23K 26/0676; B23K 26/04; B23K 26/0861; B23K 26/0884; B23K 26/402; B23K 26/57; B23K 37/0408; B23K 2103/56; H01L 21/67092; B23K 26/38; H01L 21/7806; H01L 33/0095; H01L 25/0753 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/061015 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/229164 (03.11.2022 Gazette  2022/44)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 29.04.2021 DE 102021204313 (71) Anmelder: 3D-Micromac AG 09126 Chemnitz (DE)	(72) Erfinder: LEICHSENRING, Torsten 08134 Wildenfels (DE) MITTWOCH, Kai 09661 Striegistal OT Marbach (DE) UNGER, Claudia 09119 Chemnitz (DE) LÖTZSCH, Steffen 09337 Hohenstein-Ernstthal (DE) (74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner mbB  Kronenstraße 30 70174 Stuttgart 70174 Stuttgart (DE)