(57) Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung zum Reinigen eines Werkstückes (1,
1'), die mit wenigstens einer Reinigungskammer (3, 5) zur Aufnahme des auf einem Werkstückhalter
(2) angeordneten Werkstückes (1) ausgerüstet ist. Ferner ist wenigstens eine Unterdruckeinrichtung
(11) zur Erzeugung eines durch Öffnungen (8, 9) der Reinigungskammer (3, 5) hindurchgeführten
Reinigungsluftstroms (6) vorgesehen. Außerdem eine die Reinigungskammer (3, 5) und/oder
den Werkstückhalter (2) und/oder das Werkstück (1, 1') beaufschlagende Bewegungseinheit
(7) zur Erzeugung einer Relativbewegung des Werkstückes (1, 1') gegenüber den Öffnungen
(8, 9). Erfindungsgemäß ist zumindest ein Linearantrieb (10) für den überwiegend synchronen
Antrieb der Reinigungskammer (3, 5) und des Werkstückhalters (2) und damit des Werkstückes
(1, 1') vorgesehen.
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