(19)
(11) EP 4 341 751 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.03.2024  Patentblatt  2024/13

(21) Anmeldenummer: 22708412.6

(22) Anmeldetag:  04.02.2022
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03F 7/20(2006.01)
G03F 7/00(2006.01)
 B29C 64/135(2017.01)
B33Y 30/00(2015.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
B29C 64/135; G03F 7/0037; G03F 7/70383; G03F 7/70416; G03F 7/7085; B33Y 30/00; B33Y 10/00; G03F 7/2053
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2022/052687
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2022/242920 (24.11.2022 Gazette  2022/47)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 20.05.2021 DE 102021113189

(71) Anmelder: Nanoscribe Holding GmbH
76344 Eggenstein-Leopoldshafen (DE)

(72) Erfinder:
  • BLAICHER, Matthias
    76297 Stutensee (DE)
  • HOFFMANN, Jörg
    67363 Lustadt (DE)

(74) Vertreter: DREISS Patentanwälte PartG mbB 
Friedrichstraße 6
70174 Stuttgart
70174 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINER DREIDIMENSIONALEN ZIELSTRUKTUR IN EINEM LITHOGRAPHIEMATERIAL MITTELS EINER LASERLITHOGRAPHIE-VORRICHTUNG