(19)

(11)

EP 4 341 984 A1

(12)

(43) Date de publication: 27.03.2024  Bulletin  2024/13 (21) Numéro de dépôt: 22730716.2 (22) Date de dépôt:  19.05.2022

(51) Int. Cl.:  H01L 21/02(2006.01) H01L 21/28(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01L 21/02301; H01L 21/02315; H01L 21/02178; H01L 21/02164; H01L 21/02181; H01L 21/0228; H01L 21/0254; H01L 21/02661; H01L 21/02381; H01L 21/28264 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2022/063540 (87) Numéro de publication internationale: WO 2022/243418 (24.11.2022 Gazette  2022/47)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 20.05.2021 FR 2105307 (71) Demandeurs: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 75015 Paris (FR) Centre National de la Recherche Scientifique 75016 Paris (FR) Université Grenoble Alpes 38400 Saint-Martin-d'Hères (FR)

(72) Inventeurs: SALEM, Bassem 38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR) VAUCHE, Laura 38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR) LEGALLAIS, Maxime 38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR) BARON, Thierry 38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR) GWOZIECKI, Romain 38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR) PLISSONNIER, Marc 38054 GRENOBLE Cedex 09 (FR) (74) Mandataire: Hautier IP  20, rue de la Liberté 06000 Nice 06000 Nice (FR)