(19)

(11)

EP 4 342 003 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 27.03.2024  Patentblatt  2024/13 (21) Anmeldenummer: 22724635.2 (22) Anmeldetag:  17.05.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/043(2014.01) H01L 31/0747(2012.01) H01L 31/078(2012.01) H01L 29/88(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 31/043; H01L 31/078; H01L 31/0747 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2022/100367 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/242797 (24.11.2022 Gazette  2022/47)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 21.05.2021 DE 102021113294 (71) Anmelder: Meyer Burger (Germany) GmbH 09337 Hohenstein-Ernstthal (DE)	(72) Erfinder: NONNENMACHER, Hermann-Josef 04109 Leipzig (DE) (74) Vertreter: Krujatz, Jörg Martin  Meyer Burger (Germany) GmbH An der Baumschule 6-8 DE-09337 Hohenstein-Ernstthal DE-09337 Hohenstein-Ernstthal (DE)