(19)

(11)

EP 4 347 910 A1

(12)

(43) Date de publication: 10.04.2024  Bulletin  2024/15 (21) Numéro de dépôt: 22732299.7 (22) Date de dépôt:  25.05.2022

(51) Int. Cl.:  C23C 14/00(2006.01) C23C 14/08(2006.01) C23C 14/35(2006.01) C23C 14/06(2006.01) C23C 14/34(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : C23C 14/0623; C23C 14/0036; C23C 14/08; C23C 14/352; C23C 14/3485; C23C 14/345; C23C 14/024 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2022/050999 (87) Numéro de publication internationale: WO 2022/254130 (08.12.2022 Gazette  2022/49)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 31.05.2021 FR 2105675 (71) Demandeurs: Centre National d'Études Spatiales 75039 Paris Cedex 01 (FR) Centre National de la Recherche Scientifique 75016 Paris (FR) Institut National des Sciences Appliquees de Lyon (Insa Lyon) 69100 Villeurbanne (FR) Luxembourg Institute of Science and Technology (LIST) 4362 Esch-sur-Alzette (LU)

(72) Inventeurs: CHEMIN, Jean-Baptiste 57390 Redange (FR) CHOQUET, Patrick 57050 Longeville-lès-Metz (FR) COLAS, Guillaume 70150 Pin (FR) SAULOT, Aurélien 69100 Villeurbanne (FR) YANN, Michel 31380 Monjoire (FR) (74) Mandataire: Germain Maureau  12, rue Boileau 69006 Lyon 69006 Lyon (FR)