| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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BA ME |
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Benannte Validierungsstaaten: |
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KH MA MD TN |
| (30) |
Priorität: |
27.05.2021 DE 102021205425
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| (71) |
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH |
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73447 Oberkochen (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- RAAB, Markus
91583 Schillingsfuerst (DE)
- TROEGER, Stefan
08328 Stuetzengruen (DE)
- BLEIDISTEL, Sascha
73432 Aalen (DE)
- POLLAK, Thilo
73450 Neresheim (DE)
- VOGLER, Alexander
73434 Aalen (DE)
- GWOSCH, Klaus
73431 Aalen (DE)
- KOENIGER, Andreas
73431 Aalen (DE)
- MANGER, Matthias
73432 Aalen (DE)
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| (74) |
Vertreter: Lorenz, Markus |
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Lorenz & Kollegen Patentanwälte Partnerschaftsgesellschaft mbB Alte Ulmer Straße 2
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE) |
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