(19)

(11)

EP 4 352 274 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 17.04.2024  Patentblatt  2024/16 (21) Anmeldenummer: 22731578.5 (22) Anmeldetag:  01.06.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/30(2006.01) H01J 37/32(2006.01) C23C 16/455(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C23C 16/301; C23C 16/45565; C23C 16/45572; C23C 16/45574; H01J 37/3244 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/064846 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/258446 (15.12.2022 Gazette  2022/50)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 09.06.2021 DE 102021114868 (71) Anmelder: Aixtron SE 52134 Herzogenrath (DE)	(72) Erfinder: BOYD, Adam 4721 Kelmis (BE) CRAWLEY, Fred Michael Andrew Royston Hertfordshire SG8 5QN (GB) MEYER, Dominik 52066 Aachen (DE) (74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26 42329 Wuppertal 42329 Wuppertal (DE)