| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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BA ME |
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Benannte Validierungsstaaten: |
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KH MA MD TN |
| (30) |
Priorität: |
22.06.2021 DE 102021116146
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| (71) |
Anmelder: Carl Zeiss Jena GmbH |
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07745 Jena (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- ZHONG-SCHIPP, Yi
07745 Jena (DE)
- KÜHL, Siemen
07745 Jena (DE)
- LU, Xiang
07745 Jena (DE)
- JUNGHANS, Marc
07745 Jena (DE)
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| (74) |
Vertreter: PATERIS Patentanwälte PartmbB |
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Danckelmannstraße 9
14059 Berlin
14059 Berlin (DE) |
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