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EP 4 356 417 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 24.04.2024  Patentblatt  2024/17 (21) Anmeldenummer: 21733936.5 (22) Anmeldetag:  14.06.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/334(2006.01) H01L 29/40(2006.01) H01L 29/12(2006.01) B82Y 10/00(2011.01) H01L 29/76(2006.01) H01L 29/423(2006.01) H01L 29/66(2006.01) B82Y 40/00(2011.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 29/66977; H01L 29/7613; H01L 29/122; B82Y 10/00; B82Y 40/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/065943 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/262934 (22.12.2022 Gazette  2022/51)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (71) Anmelder: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule (RWTH) Aachen 52062 Aachen (DE)	(72) Erfinder: KÜNNE, Matthias 52074 Aachen (DE) SCHREIBER, Lars 52074 Aachen (DE) (74) Vertreter: Sonnenberg Harrison Partnerschaft mbB  Herzogspitalstraße 10a 80331 München 80331 München (DE)