(19)
(11) EP 4 356 422 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
24.04.2024  Patentblatt  2024/17

(21) Anmeldenummer: 22732934.9

(22) Anmeldetag:  30.05.2022
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/68(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 21/68; G03F 7/70758
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2022/064562
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2022/263151 (22.12.2022 Gazette  2022/51)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 15.06.2021 DE 102021115415

(71) Anmelder: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
76228 Karlsruhe (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHULZ, Stefan
    76228 Karlsruhe (DE)
  • HAASE, Thomas
    76872 Steinweiler (DE)

(74) Vertreter: Meissner Bolte Partnerschaft mbB 
Patentanwälte Rechtsanwälte Postfach 86 06 24
81633 München
81633 München (DE)

   


(54) PLANAR-POSITIONIERVORRICHTUNG UND ARBEITSTISCH