(19)

(11)

EP 4 356 489 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 24.04.2024  Patentblatt  2024/17 (21) Anmeldenummer: 21740429.2 (22) Anmeldetag:  17.06.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01S 3/036(2006.01) H01S 3/04(2006.01) H01S 3/223(2006.01) H01S 3/07(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01S 3/036; H01S 3/04; H01S 3/076; H01S 3/2232 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/066414 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/262980 (22.12.2022 Gazette  2022/51)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (71) Anmelder: TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH 71254 Ditzingen (DE)	(72) Erfinder: MUELLER, Jonathan 70199 Stuttgart (DE) GIUNTA, Fabian 72393 Burladingen (DE) DAHLINGER, Morris 70469 Stuttgart (DE) KARL, Markus 70193 Stuttgart (DE) (74) Vertreter: Trumpf Patentabteilung  Trumpf SE + Co. KG TH550 Patente und Lizenzen Johann-Maus-Straße 2 71254 Ditzingen 71254 Ditzingen (DE)