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EP 4 360 132 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 01.05.2024  Patentblatt  2024/18 (21) Anmeldenummer: 22733525.4 (22) Anmeldetag:  25.05.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 25/075(2006.01) H01L 23/00(2006.01) H01L 33/00(2010.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 33/0093; H01L 25/0753; H01L 33/0095; H01L 2224/95001; H01L 2224/95092; H01L 2224/95136; H01L 2221/68322; H01L 2221/68354; H01L 2221/68368; H01L 2221/68381; H01L 24/75; H01L 2224/7598; H01L 2224/75705 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/064300 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/268431 (29.12.2022 Gazette  2022/52)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 22.06.2021 DE 102021206403 (71) Anmelder: 3D-Micromac AG 09126 Chemnitz (DE)	(72) Erfinder: KOBER, Uwe 09228 Chemnitz (DE) (74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner mbB  Kronenstraße 30 70174 Stuttgart 70174 Stuttgart (DE)