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EP 4 367 717 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 15.05.2024  Patentblatt  2024/20 (21) Anmeldenummer: 22764349.1 (22) Anmeldetag:  05.08.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/64(2006.01) H01L 23/498(2006.01) H01L 23/538(2006.01) H01L 25/18(2023.01) H01L 25/07(2006.01) H01L 23/00(2006.01) H01L 23/373(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 2224/0603; H01L 2224/49111; H01L 2224/48139; H01L 2924/19105; H01L 2224/4846; H01L 2924/19107; H01L 24/49; H01L 2224/48227; H01L 23/64; H01L 25/072; H01L 23/5386; H01L 23/3735; H01L 25/18; H01L 2924/00014; H01L 2224/49175; H01L 2224/49113; H01L 24/06; H01L 2224/04042; H01L 24/48; H01L 2224/73265; H01L 2224/29101; H01L 2224/83801; H01L 2224/8384; H01L 24/29; H01L 2224/32225; H01L 2224/48472; H01L 24/32; H01L 24/83; H01L 24/92; H01L 2224/92247; H01L 24/73   C-Sets : H01L 2224/8384, H01L 2924/00014; H01L 2924/00014, H01L 2224/45099; H01L 2224/73265, H01L 2224/32225, H01L 2224/48227, H01L 2924/00012; H01L 2224/29101, H01L 2924/014, H01L 2924/00014; H01L 2224/83801, H01L 2924/00014; (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/072137 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/051981 (06.04.2023 Gazette  2023/14)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 30.09.2021 EP 21200047 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: ENDRES, Michael 96110 Schesslitz (DE) GOSPOS, Robert 91054 Buckenhof (DE) KÜRTEN, Bernd 90587 Obermichelbach (DE) ZEYSS, Felix 91052 Erlangen (DE) (74) Vertreter: Siemens Patent Attorneys  Postfach 22 16 34 80506 München 80506 München (DE)