| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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BA ME |
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Benannte Validierungsstaaten: |
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KH MA MD TN |
| (30) |
Priorität: |
23.07.2021 DE 102021119205
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| (71) |
Anmelder: ALD Vacuum Technologies GmbH |
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63457 Hanau (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- FRANZ, Henrik
63579 Freigericht (DE)
- MORCHE, Christoph
63743 Aschaffenburg (DE)
- BIEBRICHER, Ulrich
61194 Niddatal (DE)
- KAUFHOLD, Dieter
63538 Großkrotzenburg (DE)
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| (74) |
Vertreter: Fuchs Patentanwälte Partnerschaft mbB |
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Tower 185 Friedrich-Ebert-Anlage 35-37 60327 Frankfurt am Main 60327 Frankfurt am Main (DE) |
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