(19)

(11)

EP 4 373 990 A1

(12)

(43) Date de publication: 29.05.2024  Bulletin  2024/22 (21) Numéro de dépôt: 22754857.5 (22) Date de dépôt:  21.07.2022

(51) Int. Cl.:  C23C 14/00(2006.01) C23C 14/54(2006.01) C23C 28/04(2006.01) C23C 14/06(2006.01) C23C 14/58(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : C23C 14/0641; C23C 14/0015; C23C 14/0036; C23C 14/5873; C23C 14/54; C23C 28/04 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2022/070562 (87) Numéro de publication internationale: WO 2023/001992 (26.01.2023 Gazette  2023/04)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 21.07.2021 FR 2107890 (71) Demandeurs: Université Gustave Eiffel 77420 Champs-Sur-Marne (FR) Centre National de la Recherche Scientifique 75016 Paris (FR) Université Paris-Saclay 91190 Gif-sur-Yvette (FR)

(72) Inventeurs: ROUSSEAU, Lionel 94170 Le Perreux sur Marne (FR) WILFINGER, Claudia - Antonella 75012 Paris (FR) HERTH, Etienne 94190 Villeneuve Saint Georges (FR) (74) Mandataire: Demulsant, Xavier  Dejade & Biset 8 Avenue Jean Bart 95000 Cergy 95000 Cergy (FR)