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EP 4 388 583 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 26.06.2024  Patentblatt  2024/26 (21) Anmeldenummer: 22786817.1 (22) Anmeldetag:  27.09.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/053(2006.01) H01L 25/07(2006.01) H01L 23/10(2006.01) H01L 25/18(2023.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 2224/48091; H01L 2224/05553; H01L 2924/10161; H01L 2224/49175; H01L 23/053; H01L 23/10; H01L 25/072; H01L 25/18; H01L 2224/04042; H01L 2224/85205; H01L 2224/48472; H01L 2924/10272; H01L 2924/13091; H01L 2924/13055; H01L 24/85; H01L 24/48; H01L 2224/48247; H01L 24/49; H01L 24/05; H01L 24/06; H01L 2224/06131; H01L 2924/173; H01L 2924/1711; H01L 2924/1715; H01L 2224/45099   C-Sets : H01L 2224/48091, H01L 2924/00014; H01L 2224/05553, H01L 2924/00014; H01L 2224/06131, H01L 2924/00014; H01L 2224/45099, H01L 2924/00014; (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/076838 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/072510 (04.05.2023 Gazette  2023/18)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 28.10.2021 EP 21205313 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: KÜRTEN, Bernd 90587 Obermichelbach (DE) KAPPAUF, Daniel 91322 Gräfenberg (DE) (74) Vertreter: Siemens Patent Attorneys  Postfach 22 16 34 80506 München 80506 München (DE)