(19) |
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(11) |
EP 4 390 144 A3 |
(12) |
EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
(88) |
Veröffentlichungstag A3: |
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10.07.2024 Patentblatt 2024/28 |
(43) |
Veröffentlichungstag A2: |
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26.06.2024 Patentblatt 2024/26 |
(22) |
Anmeldetag: 22.12.2022 |
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(51) |
Internationale Patentklassifikation (IPC):
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(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT
NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
(62) |
Anmeldenummer der früheren Anmeldung nach Art. 76 EPÜ: |
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22216232.3 / 4151860 |
(71) |
Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG |
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35614 Asslar (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- GILBRICH, Sönke
35753 Greifenstein (DE)
- HOFMANN, Jan
35305 Grünberg (DE)
- KOCI, Bernd
35614 Schöffengrund (DE)
- MEKOTA, Mirko
35630 Ehringshausen (DE)
- WILLE, Thilo
57334 Bad Laasphe (DE)
- SCHWEIGHÖFER, Michael
35641 Schöffengrund (DE)
- STOLL, Tobias
35644 Hohenahr (DE)
- KOCH, Bernhard
35619 Braunfels (DE)
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(74) |
Vertreter: Manitz Finsterwald
Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB |
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Martin-Greif-Strasse 1 80336 München 80336 München (DE) |
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(57) Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einer
während des Betriebs um eine Drehachse rotierenden Rotorwelle und mit wenigstens einem
auf der Rotorwelle befestigten Rotorbauteil, wobei das Rotorbauteil eine Rotorscheibe
ist, die einen radial innen liegenden Bund, über den die Rotorscheibe auf der Rotorwelle
befestigt ist, und mehrere Rotorschaufeln umfasst, die jeweils integral mit dem Bund
verbunden sind und die sich jeweils ausgehend von einem Schaufelgrund am Bund radial
nach außen erstrecken und radial außen ein freies Schaufelende aufweisen, oder wobei
das Rotorbauteil ein Holweckbauteil ist, insbesondere eine Holwecknabe oder eine Holweckhülse,
und wobei die Rotorscheibe und/oder das Holweckbauteil aus einer Aluminiumlegierung
gefertigt sind bzw. ist, die folgende Elemente in Gewichts-% aufweist: Cu: 3,6-4,4;
Mg: 1,2-1,4; Mn : 0,5-0,8; Zr: < 0,16; Ti : 0,01-0,05; Si < 0,21; Fe < 0,21; Zn <
0,26; andere Elemente < 0,06; Rest Aluminium.