(19)

(11)

EP 4 406 076 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 31.07.2024  Patentblatt  2024/31 (21) Anmeldenummer: 21782476.2 (22) Anmeldetag:  20.09.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01S 3/00(2006.01) H01S 3/23(2006.01) H01S 3/223(2006.01) H05G 2/00(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01S 3/2232; H01S 3/005; H01S 3/2366; H01S 3/0057; H05G 2/008; H05G 2/005 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/075775 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/041180 (23.03.2023 Gazette  2023/12)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (71) Anmelder: TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH 71254 Ditzingen (DE)	(72) Erfinder: SCHULZ, Joachim 70839 Gerlingen (DE) KRAUSS, Günther 71088 Holzgerlingen (DE) (74) Vertreter: Trumpf Patentabteilung  Trumpf SE + Co. KG TH550 Patente und Lizenzen Johann-Maus-Straße 2 71254 Ditzingen 71254 Ditzingen (DE)