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EP 4 413 174 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 14.08.2024  Patentblatt  2024/33 (21) Anmeldenummer: 22801048.4 (22) Anmeldetag:  06.10.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/32(2006.01) C23C 16/458(2006.01) C30B 25/10(2006.01) H01L 21/687(2006.01) C23C 16/455(2006.01) C23C 16/46(2006.01) C30B 25/12(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C23C 16/325; C23C 16/45508; C23C 16/4558; C23C 16/4581; C23C 16/4584; C23C 16/4585; C23C 16/4586; C23C 16/46; H01L 21/68735; H01L 21/68764; H01L 21/68771; H01L 21/67103; C30B 25/12; C30B 29/36 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/077767 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/057542 (13.04.2023 Gazette  2023/15)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 07.10.2021 DE 102021126019 (71) Anmelder: Aixtron SE 52134 Herzogenrath (DE)	(72) Erfinder: HOLZWARTH, Jared Lee 52074 Aachen (DE) KOLLBERG, Marcel 52146 Würselen (DE) MUKINOVIC, Merim 52146 Würselen (DE) STRAUCH, Stephan 52222 Stolberg (DE) (74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26 42329 Wuppertal 42329 Wuppertal (DE)