(19)
(11) EP 4 413 612 A1

(12)

(43) Date de publication:
14.08.2024  Bulletin  2024/33

(21) Numéro de dépôt: 22797422.7

(22) Date de dépôt:  03.10.2022
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/02(2006.01)
 H01L 21/18(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01L 21/02002; H01L 21/185; H01L 21/187
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2022/051860
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2023/057709 (13.04.2023 Gazette  2023/15)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 05.10.2021 FR 2110520

(71) Demandeur: SOITEC
38190 Bernin (FR)

(72) Inventeurs:
  • RADU, Ionut
    38190 BERNIN (FR)
  • BIARD, Hugo
    38190 BERNIN (FR)
  • GAUDIN, Gweltaz
    38190 BERNIN (FR)

(74) Mandataire: Regimbeau 
20, rue de Chazelles
75847 Paris Cedex 17
75847 Paris Cedex 17 (FR)

   


(54) PROCÉDÉ DE TRANSFERT D'UNE COUCHE DE SIC MONOCRISTALLIN SUR UN SUPPORT EN SIC POLYCRISTALLIN UTILISANT UNE COUCHE INTERMÉDIAIRE DE SIC POLYCRISTALLIN