(19)
(11) EP 4 416 313 A1

(12)

(43) Date de publication:
21.08.2024  Bulletin  2024/34

(21) Numéro de dépôt: 22803216.5

(22) Date de dépôt:  14.10.2022
(51) Int. Cl.: 
C23C 14/22(2006.01)
C23C 14/46(2006.01)
 C23C 14/14(2006.01)
C23C 14/34(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
C23C 14/46; C23C 14/14; C23C 14/225; C23C 14/3407
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2022/078729
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2023/062227 (20.04.2023 Gazette  2023/16)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 14.10.2021 FR 2110872

(71) Demandeur: Safran Electronics & Defense
75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • LETOURNEUR, Bruno
    77550 MOISSY-CRAMAYEL (FR)
  • BERNARD, Sébastien
    77550 MOISSY-CRAMAYEL (FR)
  • SANCHEZ, Miguel
    77550 MOISSY-CRAMAYEL (FR)
  • BARNERIAS, Guillaume
    77550 MOISSY-CRAMAYEL (FR)

(74) Mandataire: Cabinet Boettcher 
5, rue de Vienne
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) PROCEDE DE FABRICATION D'UN ELEMENT DE POMPAGE COMPRENANT LA REALISATION D'UN DEPOT DE MATERIAU GETTER PAR PULVERISATION PAR FAISCEAU D'IONS