(19)

(11)

EP 4 420 159 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 28.08.2024  Patentblatt  2024/35 (21) Anmeldenummer: 21794815.7 (22) Anmeldetag:  19.10.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/78(2006.01) H01L 23/544(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 23/544; H01L 21/78; H01L 21/6836; H01L 2221/68381; H01L 2221/68322; H01L 2221/68354 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/078918 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/066463 (27.04.2023 Gazette  2023/17)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (71) Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH 4782 St. Florian am Inn (AT)	(72) Erfinder: BURGGRAF, Jürgen 4782 St. Florian am Inn (AT) WIMPLINGER, Markus 4782 St. Florian am Inn (AT) UHRMANN, Thomas 4782 St. Florian am Inn (AT) LINDNER, Friedrich, Paul 4782 St. Florian am Inn (AT) (74) Vertreter: Schneider, Sascha et al Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22 40878 Ratingen 40878 Ratingen (DE)