(19)

(11)

EP 4 423 006 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 04.09.2024  Patentblatt  2024/36 (21) Anmeldenummer: 22805896.2 (22) Anmeldetag:  26.10.2022

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B81C 1/00(2006.01) H01L 23/48(2006.01) H01L 21/768(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 21/76898; H01L 23/481; H01L 21/7682; B81C 1/00095 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2022/079942 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/073025 (04.05.2023 Gazette  2023/18)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 27.10.2021 EP 21204923 (71) Anmelder: Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V. 70569 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: DEHÉ, Alfons 72770 Reutlingen (DE) NOMMENSEN, Peter 78054 Villingen-Schwenningen (DE) AUBER, Johannes 78052 Villingen-Schwennigen (DE) (74) Vertreter: Hertin und Partner Rechts- und Patentanwälte PartG mbB  Kurfürstendamm 54/55 10707 Berlin 10707 Berlin (DE)