(19)
(11) EP 4 426 874 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.09.2024  Patentblatt  2024/37

(21) Anmeldenummer: 22801059.1

(22) Anmeldetag:  07.10.2022
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/24(2006.01)
 C23C 14/28(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 14/243; C23C 14/246; C23C 14/28
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2022/077896
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/110185 (22.06.2023 Gazette  2023/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 17.12.2021 DE 102021006249

(71) Anmelder: Singulus Technologies AG
63796 Kahl am Main (DE)

(72) Erfinder:
  • LUDWIG, Andreas
    63741 Aschaffenburg (DE)
  • BORODIN, Sergiy
    63741 Aschaffenburg (DE)

(74) Vertreter: Vossius & Partner Patentanwälte Rechtsanwälte mbB 
Siebertstrasse 3
81675 München
81675 München (DE)

   


(54) BESCHICHTUNGSQUELLE, BESCHICHTUNGSANLAGE UND VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG VON SUBSTRATEN