(19)

(11)

EP 4 427 263 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 11.09.2024  Patentblatt  2024/37 (21) Anmeldenummer: 21806167.9 (22) Anmeldetag:  02.11.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/67(2006.01) H01L 21/78(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 21/67092; H01L 21/302; H01L 21/67288 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/080376 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/078528 (11.05.2023 Gazette  2023/19)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (71) Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH 4782 St. Florian am Inn (AT)

(72) Erfinder: UHRMANN, Thomas 4782 St. Florian am Inn (AT) WIMPLINGER, Markus 4782 St. Florian am Inn (AT) LINDNER, Friedrich, Paul 4782 St. Florian am Inn (AT) BURGGRAF, Jürgen 4782 St. Florian am Inn (AT) WAGENLEITNER, Thomas 4782 St. Florian am Inn (AT) ZINNER, Dominik 4782 St. Florian am Inn Österreich (AT) FINGER, Martin 4782 St. Florian am Inn (AT) ROHRINGER, Harald 4782 St. Florian am Inn (AT) (74) Vertreter: Schneider, Sascha et al Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22 40878 Ratingen 40878 Ratingen (DE)