(19)
(11) EP 4 427 265 A1

(12)

(43) Date de publication:
11.09.2024  Bulletin  2024/37

(21) Numéro de dépôt: 22805882.2

(22) Date de dépôt:  25.10.2022
(51) Int. Cl.: 
H01L 23/427(2006.01)
H01L 21/48(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01L 23/427; H01L 21/4882
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2022/079721
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2023/078728 (11.05.2023 Gazette  2023/19)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 04.11.2021 FR 2111712

(71) Demandeurs:
  • Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
    75015 Paris (FR)
  • SOCPRA Sciences et Génie s.e.c.
    Sherbrooke, Quebec J1L 1E2 (CA)

(72) Inventeurs:
  • STRUSS, Quentin
    38000 Grenoble (FR)
  • AMNACHE, Amrid
    Sherbrooke, Québec J1N 1B2 (CA)
  • COLONNA, Jean-Philippe
    38054 Grenoble Cedex 09 (FR)
  • COUDRAIN, Perceval
    38054 Grenoble Cedex 09 (FR)
  • FRECHETTE, Luc
    Sherbrooke, Québec J1J 2Y2 (CA)
  • PANDIYAN, Rajesh
    Sherbrooke, Québec J1H 5C7 (CA)

(74) Mandataire: Cabinet Beaumont 
4, Place Robert Schuman B.P. 1529
38025 Grenoble Cedex 1
38025 Grenoble Cedex 1 (FR)

   


(54) CHAMBRE À VAPEUR