(19)

(11)

EP 4 430 656 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 18.09.2024  Patentblatt  2024/38 (21) Anmeldenummer: 21807075.3 (22) Anmeldetag:  08.11.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/67(2006.01) H01L 21/18(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 21/67092; H01L 21/185 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/080886 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2023/078567 (11.05.2023 Gazette  2023/19)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (71) Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH 4782 St. Florian am Inn (AT)	(72) Erfinder: FEHKÜHRER, Andreas 4782 St. Florian am Inn (AT) (74) Vertreter: Schneider, Sascha et al Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22 40878 Ratingen 40878 Ratingen (DE)