(19)
(11) EP 4 440 987 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.10.2024  Patentblatt  2024/41

(21) Anmeldenummer: 21820604.3

(22) Anmeldetag:  02.12.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C01B 33/037(2006.01)
C23F 1/32(2006.01)
C09K 13/02(2006.01)
H01L 21/306(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C01B 33/037; C09K 13/02; H01M 4/386; Y02E 60/10
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/083993
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/099002 (08.06.2023 Gazette  2023/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(71) Anmelder: Wacker Chemie AG
81671 München (DE)

(72) Erfinder:
  • DRÄGER, Christoph
    81369 München (DE)
  • HAUFE, Stefan
    85579 Neubiberg (DE)

(74) Vertreter: Belz, Ferdinand et al
Wacker Chemie AG Gisela-Stein-Straße 1
81671 München
81671 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUM ENTHALTENDEN MATERIALIEN