(19)
(11)
EP 4 440 987 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
09.10.2024
Patentblatt 2024/41
(21)
Anmeldenummer:
21820604.3
(22)
Anmeldetag:
02.12.2021
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
C01B
33/037
(2006.01)
C23F
1/32
(2006.01)
C09K
13/02
(2006.01)
H01L
21/306
(2006.01)
(52)
Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C01B
33/037
;
C09K
13/02
;
H01M
4/386
;
Y02E
60/10
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/083993
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2023/099002
(
08.06.2023
Gazette 2023/23)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN
(71)
Anmelder:
Wacker Chemie AG
81671 München (DE)
(72)
Erfinder:
DRÄGER, Christoph
81369 München (DE)
HAUFE, Stefan
85579 Neubiberg (DE)
(74)
Vertreter:
Belz, Ferdinand et al
Wacker Chemie AG Gisela-Stein-Straße 1
81671 München
81671 München (DE)
(54)
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICIUM ENTHALTENDEN MATERIALIEN